纳米压痕仪测试
测试样例
1) 样例
适用领域
1) 应用于薄膜材料硬度、模数等机械性质
2) 纳米硬度 纳米压痕 薄膜硬度
样品要求
1) 小于10*10*4 mm
2) 有毒易挥发样品请提前告知
3) 对其它可能危害仪器的样品必须事先注明，并告知相关防护措施
收费标准
1) 300元/样（测3个点）
2) 加点位 80元/点
3) 需镶嵌制样 50元
测试周期
1) 1~2天
测试仪器
仪器名称：纳米压痕仪
仪器型号：Anton Paar NHT2
品 牌：Anton Paar 
纳米压痕是测试薄膜材料力学性质的方法之一，可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量 (Elastic Modulus)、硬度(Hardness)、断裂韧性(Fracture Toughness)、应变硬化效应(Strain Hardening Effect)、粘弹性(Viscoelastic)或蠕变(Creep)行为等。
重要指标
1) 最大载荷 500 mN
2) 载荷精度 0.01 μN
3) 最大深度 200 μm
4) 深度分辨率 0.01 nm
