仪器简介：美国布鲁克DEKTAK XT适用于纳米尺度的表面轮廓测量、薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量，应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域。
仪器参数：测量重复性：5Å，1δ（10000Å的标准台阶） 最大扫描长度：55mm 标准垂直测量范围：1mm 扫描方式：线性扫描（基于精确光学平面的样品台）
测试项目：薄膜厚度、平整度
测试3个点位 （测试周期快，1-2个工作日，即到即测）
样品要求：块状固体或者薄膜，长宽最好在10mm×10mm（不做特殊要求），高度（厚度）不超过垂直测量范围1mm
