球差校正透射电镜测试
测试样例
1) 样例1
2) 样例1
面向学科
化学、材料等相关学科
样品要求
1) 粉体需5mg左右，块体样品，样品大小为直径3mm的圆，厚度100nm以下；
2) 粉末和液体样品，样品需均匀分散在支撑膜上并且干燥；
3) 所有的样品拍摄之前需要自己用高分辨TEM预观察，确保样品制备成功;
4) 磁性样品指：Fe，Co，Ni，Mn元素或者磁铁可以有响应的材料；
5) 低熔点、易分解、磁性、毒性、放射性的样品不可测。
制样要求
1) 载网：粉末样品需要使用进口超薄碳膜、进口超薄微栅、进口超薄金膜（含铜的样品，且需要做EDS或EELS测试）、国产标记微栅（需要检测特定的颗粒）。
2) 样品分散：用户需要把样品研磨后，滴到载网上，研磨方法是加入酒精后，在研钵中湿磨，研磨分散效果比超声分散效果要好一些，要想分散得好，可以适当延长研磨时间。
3) 制样浓度：特别强调，样品制样浓度要高一些，以在载网周围能看到一圈黑的（如果样品是黑的）样品为宜。
4) 样品烘干：测试之前，需要在加热板、红外灯或烘箱中干燥，温度设定根据样品不同而不同，一般为100度左右就可以，石墨烯样品可以设到180度，烘烤时间1个小时以上。
5) 其它样品制样：用户可以使用FIB、电解双喷、手工等方法制备样品。
收费标准
1) 单原子样品只拍单原子像：3500元/样
2) 单原子样品只拍EDS mapping：3500元起/样
3) 单原子样品拍全套（单原子像+EDS mapping）：5000元/样
4) 非磁性样品拍全套（原子像+EDS mapping）：5000元/样
5) 磁性样品拍全套（原子像+EDS mapping）：8000元/样
6) 需要测EELS的样品，8000元起/样，具体费用根据需求具体评估
7) 特别提醒：因球差电镜特殊要求，所有球差电镜样品均需在普通透射电镜上检测不积碳后方可测试。
测试仪器
仪器名称: 球差校正透射电子显微镜
仪器型号: 日本电子JEM-ARM200F
关键字:球差、透射、电镜、TEM、STEM、Mappping
日本电子JEM-ARM200F为电子光学系统标准配备了一体化球差校正器，电气和机械性能的稳定性也达到极限水平, 使扫描透射像(STEM-HAADF)分辨率达到0.08nm, 成为商用透射电子显微镜中的世界之最。电子束在像差校正之后, 束流密度比传统的透射电子显微镜高出一个数量级。因为束流更亮更细、电流密度高, ARM200F能够在进行原子水平分析的同时, 还能缩短检测时间和提高样品处理能力。
技术参数
2.1电源电压：
2.1.1主机:：AC单相220V (± 10%)，≥50A，50/60Hz
2.1.2球差校正器：AC单相100-240V，1500W，50/60Hz
2.1.3球差校正器用电脑：AC单相100-240V，250VA/200W，50/60Hz
2.1.4电源及频率稳定性：≤±5%
2.1.5冷却循环水：AC 380V (± 10%) 50Hz 三相
2.1.6地线：≤5欧姆以下独立地线
2.2 工作环境温度： 20±5℃，
温度的漂移小于等于 0.2℃/h
温度波动小于等于0.05 ℃/min
2.3 环境相对湿度： ≤60％
2.4 压力变化：≤ 1 Pa
2.5 空气流动： ≤100mm/秒
2.6 噪音：≤50-60dB
2.7 振动：≤0.2-0.4um
2.8 磁场：直流电流磁场波动：小于0.05T，交流电流磁场波动：小于0.05T
3、技术要求及参数
3.1 电子枪和加速电压
3.1.1 电子枪：肖特基热场发射电子枪*
3.1.2 加速电压：加速电压≥200kV，可实现加速电压连续可调并正常稳定工作。
3.1.3加速电压稳定度：≤ 1ppm/min(峰峰值)*
3.1.4物镜电流稳定度：≤ 0.5ppm/min(峰峰值)*
3.2 分辨率
3.2.1 点分辨率≤0.23nm；（样品台≥±35度角时，点分辨率≤0.23nm）*
3.2.2 线分辨率≤0.10nm*
3.2.3 STEM暗场分辨率≤0.08nm
3.3 最小束斑尺寸：£0.1nm
3.4 束流强度：0.2nm时0.5nA 或更高
3.5 物镜参数：
3.5.1球差系数： ≤ 1.0mm；
3.5.2色差系数： ≤ 1.4 mm
3.6 STEM修正参数：
3.6.1聚光镜球差系数：可调，±5um 或更好
3.7 会聚束电子衍射（CBED）
3.7.1 会聚角(2α)：大于1.5-20 mrad
3.7.2 接受角： ±10°
3.7.3束流漂移：1nm/min 或更低
3.8 放大倍数：TEM: 50-2,000,000倍*；STEM magnification: ≥150,000,000*
3.9 真空系统
3.9.1 电子枪室：≤1 x 10-7Pa(数量级)
3.9.2 样品室： ≤2 x 10-5 Pa
3.10 样品杆
3.10.1 样品倾斜角度：双倾样品杆 X/Y ≥±25°；如果选择点分辨≤0.23nm时，样品杆倾斜角度 ≥±35°
3.10.2 样品移动范围： 2mm(X, Y); 0.2mm(Z)
3.10.5普通双倾样品台
3.10.5低背景信号，EDS分析用双倾样品台
3.11 扫描透射(STEM)
3.11.1 暗场分辨率：≤0.10 nm*
3.11.2 探头：BF(可进行ABF像观察)，HAADF，探测器同时安装
3.12 控制和数据处理系统：Windows操作系统
3.13 能谱仪(EDS)的技术规格
3.13.1 SDD探测器
3.13.2 有效探测器面积：100平方毫米*
3.13.3 分辨率：优于129eV
3.13.4 分辨元素范围：B-U
3.13.5 包括专用的计算机和显示器
3.13.6 操作及数据处理模式：配备定性、定量数据处理软件及其它标准的用于EDS分析的必备软件
3.13.7 能够做点、线和面的定性及定量分析
3.13.8 可以与STEM配合进行Mapping的漂移校正
3.13.9 取出角: 1 str.（UHR极靴）
3.13.10探头保护阀门
3.14透射电镜用CCD相机
3.14.1 安装方式：底插CCD及软件
3.14.2分辨率：4k x 2.7k 即1100万像素
3.14.3耦合方式：光纤耦合
3.14.4动态范围：16位
3.14.5可伸缩式设计（可扩充GIF）
